狹縫擠出式涂布機(jī)沉積速率高，試驗(yàn)周期短
更新時(shí)間：2022-04-14 點(diǎn)擊次數(shù)：1241
狹縫擠出式涂布機(jī)是一種利用激光對(duì)物體進(jìn)行轟擊，然后將轟擊出來(lái)的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上，得到沉淀或者薄膜的一種手段。
歷史背景：
早于1916年，愛因斯坦（AlbertEinstein）已提出受激發(fā)射作用的假設(shè)?？墒?，首部以紅寶石棒為產(chǎn)生激光媒介的激光器，卻要到1960年，才由梅曼（TheodoreH.Maiman）在休斯實(shí)驗(yàn)研究所建造出來(lái)。總共相隔了44年。使用激光來(lái)熔化物料的歷史，要追溯到1962年，布里奇（Breech）與克羅斯（Cross）利用紅寶石激光器，汽化與激發(fā)固體表面的原子。三年后，史密斯（Smith）與特納（Turner）利用紅寶石激光器沉積薄膜，視為脈沖激光沉積技術(shù)發(fā)展的源頭。
涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時(shí)，激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移，及最后的膜生成過程。
狹縫擠出式涂布機(jī)主要優(yōu)點(diǎn)：
1.易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜，即具有良好的保成分性。
2.沉積速率高，試驗(yàn)周期短，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻。
3.工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié)，對(duì)靶材的種類沒有限制。
4.發(fā)展?jié)摿薮?，具有極大的兼容性。
5.便于清潔處理，可以制備多種薄膜材料。
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