真空腔體水氣解吸附組件

真空腔體水氣解吸附組件

Zcuve是近年來(lái)國(guó)際上較多使用的水蒸氣解吸技術(shù)。*的設(shè)計(jì)可從2.75“擴(kuò)展到8"法蘭尺寸，具有比例較高的紫外線功率因數(shù)和較大的法蘭尺寸。

Zcuve的設(shè)計(jì)目的是在真空室內(nèi)不可能有一個(gè)暴露的紫外線發(fā)射器的情況下，從大型沉積室中解吸水。標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)成的百葉窗可用于防止Zcuve在沉積過(guò)程中被涂層。

這一過(guò)程在O型環(huán)（氟橡膠）密封真空室（沒(méi)有任何其他烘烤方式）上效果好，也適用于較小尺寸的樣品傳輸。

技術(shù)參數(shù)：

An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外線透射，超高真空窗。發(fā)射器背面的一面鏡子進(jìn)一步改善了185納米紫外線輻射通過(guò)窗戶(hù)進(jìn)入真空室的傳輸。Zcuve外殼用惰性氣體進(jìn)行回填，以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧。最后，發(fā)射極引線經(jīng)由mhv高壓連接器連接至控制裝置。

主要特點(diǎn)：

利用紫外輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生很少的熱量。更少的熱量意味著更少的機(jī)械零件和樣品損壞。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，uvc不需要直接的現(xiàn)場(chǎng)線路來(lái)解吸水蒸氣。它不能進(jìn)入角落和縫隙，但它可以反射拋光表面（如室壁），每次“反彈"損失50%到70%。

UVB-100
uvb-100使用uvc輻射無(wú)需加熱就可以釋放水蒸氣。發(fā)射器伸入真空室。

ZCuVE
零間隙紫外發(fā)射器水蒸氣解吸系統(tǒng)（Zcuve）利用紫外輻射無(wú)熱解吸水蒸氣。發(fā)射器位于真空室外面。

注：這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計(jì)用于高真空系統(tǒng)、大真空、氣室和樣品傳輸。它們的設(shè)計(jì)并不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法，而是與特高壓兼容。