全自動(dòng)光刻機(jī)  

全自動(dòng)光刻機(jī)
MIDAS SYSTEM公司開發(fā)并生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED及納米技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域的光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)和甩膠機(jī)，是韓國*家研發(fā)并商業(yè)化光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)的企業(yè)，始終致力于不斷*、增強(qiáng)技術(shù)型企業(yè)的核心競爭力。

MIDAS SYSTEM公司具有專業(yè)化的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，以客戶需要為己任，生產(chǎn)、供應(yīng)滿足國內(nèi)外企業(yè)、科研院所不斷增長的應(yīng)用需求，并且提供半導(dǎo)體工藝相關(guān)的設(shè)備需要。

MDA-12SA型曝光機(jī)是一款MIDAS公司新開發(fā)的產(chǎn)品，代表了下一代全區(qū)域光刻系統(tǒng)。這一新型半自動(dòng)化對準(zhǔn)曝光平臺具有更高的重復(fù)光刻精度以及更可靠的操作，非常適合陶瓷及其他探針卡應(yīng)用，同時(shí)MDA-12SA型半動(dòng)化光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)具有更高的生產(chǎn)能力和容易操控。



項(xiàng)目 參數(shù)
光源能量 紫外曝光光源光強(qiáng)2000～5000W，輸出能量可控
光束范圍 14.25″× 14.25″
均勻光束范圍 13.25″× 13.25″
光束均勻性 ＜3%～5%
365nm輸出光束強(qiáng)度 5KW 25～60mW/cm2，2 KW 15～30mW/cm2
400nm輸出光束強(qiáng)度 5KW 50～100mW/cm2，2 KW30～50mW/cm2
可調(diào)節(jié)曝光時(shí)間 0.1～999.9s
范圍觀察 顯微鏡/CCD相機(jī)安裝（480～1000倍可變放大,1600倍可選）
電動(dòng)觀察范圍移動(dòng) 顯微鏡x、y、z電動(dòng)操作（手柄控制）
電動(dòng)樣品臺 樣品臺x、y、z、Theta電動(dòng)操作
卡盤移動(dòng) 大范圍。靜態(tài)對準(zhǔn)工具模塊進(jìn)行x、y、z、Theta移動(dòng)
卡盤水平 楔形誤差補(bǔ)償（楔形位置自動(dòng)感應(yīng)，壓力傳感器，警報(bào)）
基片尺寸 直至14″× 14″
掩模板規(guī)格 可替換的直至15″× 15″
真空卡盤移動(dòng) x、y：10mm；Theta：4×
Z向移動(dòng)距離 10mm
接觸模式 接近式、軟接觸式、硬接觸式、真空接觸式（真空接觸力可調(diào)節(jié)）
接近調(diào)節(jié) 1μm步進(jìn)可調(diào)節(jié)程序化控制系統(tǒng)
對準(zhǔn)精度 1μm
顯示器 17″觸屏
氣動(dòng)控制 基片、掩膜、接觸、接觸調(diào)節(jié)、卡盤鎖、N2、N2調(diào)節(jié)
分辨率 1μm（真空接觸下近紫外）
擺放 防震桌
選件 CCD BSA、DUV、紫外強(qiáng)度計(jì)