磁控濺射儀：

襯底尺寸：4'為主，6'兼容。

濺射金屬膜厚均勻性要求：≤±5%。

靶位：4個。

極限壓力：<6.6×10-6e Pa。

靶材尺寸：3英寸。

可濺射磁性材料。

靶與樣品距離可調(diào)，且可以在30度角度內(nèi)擺頭。

配置load-lock，可放置5片6英寸樣品，在高真空狀態(tài)下，由電動馬達分別傳送每片樣品，順序濺射每片樣品，逐一完成5片濺射鍍膜。

樣品臺可加熱至750度，可旋轉(zhuǎn)。

全自動真空度控制模塊。

磁控濺射儀：

氣路：Ar、O2、N2。

射頻電源：2個，每個600W

直流電源：2個，每個1000W

科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質(zhì)』、『服務』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國用戶提供儀器、設備，周到的技術(shù)、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國，納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領(lǐng)域，都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設備平臺來實現(xiàn)?？祁ＴO備有限公司有幸成長在這個火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。