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簡要描述：垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對齊，VBT系列機器是一種單級自動垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具，具有凹口/平面對齊選項。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-06-17訪 問 量：217詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 |
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垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對齊：
VBT系列機器是一種單級自動垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具，具有凹口/平面對齊選項。
邊緣的晶圓處理
檢測傳感器，用于監(jiān)測傳輸和對齊過程。
占地面積小。
垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對齊：
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
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