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簡(jiǎn)要描述：PL SERIES納米壓印，提供了一個(gè)帶有微定位裝置的機(jī)械平臺(tái)，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器，同時(shí)為您的整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。
產(chǎn)品型號(hào)：廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2026-06-17訪(fǎng) 問(wèn) 量：339產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 |
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PL SERIES納米壓印：
Midas推出了一種臺(tái)式、獨(dú)立的納米壓印平臺(tái)：PL系列PL 200/400/600。該平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微定位裝置的機(jī)械平臺(tái)，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器，同時(shí)為您的整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。
PL SERIES納米壓印：
•基板尺寸 PL 200:2英寸，PL 400:4英寸，PL 600:6英寸（尺寸較小，形狀不規(guī)則）
•壓印面積與晶圓尺寸相同
•模板尺寸 PL 200:2，1英寸，PL 400:4，3，1英寸，PL 600:6，4，2，1英寸
•壓印壓力1 psi標(biāo)準(zhǔn)
•包括模具/基板自動(dòng)釋放-無(wú)需特殊工具
•95%強(qiáng)度水平下的紫外線(xiàn)照射時(shí)間2~3分鐘
•對(duì)準(zhǔn)能力X、Y、Z和θ（精度2μm）
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